MKS流量控制器0248AC-50000RVS171

　　MKS流量控制器0248AC-50000RVS171

　　250E是一个独立的PID控制模块，旨在提供优化的控制动态闭环系统中气体(或气体)的总压力或流量。使用250E时，输入可以通过Baratron®Capacitance Manom​​eter或其他设备提供兼容的真空表用于闭环压力控制，或流量输入可以测量通过质量流量传感器进行闭环流量控制。

　　其电源具有足够的输出为大多数电容式压力计和流量传感器供电。过程控制可通过前面板电位器手动调整或远程调整用0-5VDC模拟信号编程以生成轮廓。有了多点设置选项，简单的地面关闭将选择四个预设设置点之一。Lauda温控头

　　基本的250E提供了一个简单的模拟误差表来显示实际值与理想值之间的偏差。它也有一个可选的4½数字LED显示屏，可以读出输入信号传感器信号并且不需要单独的显示仪器。

　　一个过程当实际压力或流量超过a时，限制选项提供逻辑电平和继电器闭合预期设定点的预设百分比。这些限制可以从0.5%到100%的范围内调整点。Rs Isolsec电压互感器

　　MKS控制阀是由电磁铁驱动的配料控制阀设计用于精确控制气体流量范围从0.1sccm到200slm。 250E控制模块与148,154和248兼容控制阀。148阀门是高纯度的金属密封设计应用和输送有害气体不能容忍微小的泄漏到大气中。

　　它控制流量范围在10到30,000 sccm之间。154阀门设计用于20至200的流量slm并使用专利的平衡力控制阀。不像先导阀和其他磁力驱动电磁阀，154可以快速响应设定点在广泛的入口范围内无振荡地变化压力。Findeva振动器

　　248是一种弹性体密封的通用阀门，应用从10 sccm到10,000 sccm。

　　压力/流量控制系统由三个基本组成部件：1)过程传感器，2)PID控制器，以及3)a控制元素。 比较简单的单一气体控制系统，压力传感器或质量流量计测量过程压力或气体入口流量。该250E PID控制器比较测量的压力或流动到所需的设定点并调节气流控制阀，以达到设定点。Challenge electronics电磁声音换能器

　　MKS质量流量控制器GM50A013103S5M020

　　MKS氨气流量计NH3 1179B

　　MKS流量计1179A00423CR1AV 3000SCCM AR

　　MKS真空计P/N:901P-12-0047 S/N:1014030094