MKS流量计640B-29126

　　MKS流量计640B-29126

　　640B绝对压力控制器是一个独立的紧凑型闭环电子压力控制系统，包含Baratron®电容压力计，常闭比例控制阀和闭环控制电子设备。与标准MFC在电气上类似，640B由±15 VDC供电，仅为200 mA，允许使用标准电源和显示电子设备。压力输出和输入控制信号为线性0-5或0-10 VDC。带有LED状态指示灯的两个跳闸点可用作简单的开/关过程限制。

　　集成Baratron®电容压力计技术;

　　低压工艺的满量程范围低至10 Torr;

　　可与上游或下游控制器应用程序一起使用;

　　两个报警跳闸点用于过程限制控制。

　　通过任何孔口的流量取决于孔口的尺寸，入口和出口压力以及气体密度。要简化640/641孔板选择，请使用以下步骤：

　　在图中的索引编号表中，从左侧压力列中选择入口压力 - 将施加到640/641入口的压力。(注意，这些值是绝对压力。)接下来，从该表顶部的一排压力中选择差压(delta)压力 - 这是入口压力减去出口压力。找到索引号 - 您选择的行和列相交的位置。计算密度校正因子。

　　转到孔板选择图(参见图)并沿底轴找到索引号。

　　在索引号处绘制一条垂直线。该线将与可用的阀孔的比较大流速线相交。

　　选择比较大流量超过您要求的孔口。如果图表上的点接近孔口的比较大流量，您可以选择下一个比较大的孔口数

　　在640控制器中，Baratron压力传感器测量绝对压力; 在641型号中，它测量表压(相对于环境大气压的压力)。在两种型号中，可提供10,100或1000 Torr或60或100 psi的满量程范围。每个640/641可以控制从满量程到满量程的2%以下的压力。谨慎的设计建议为应用选择尽可能低的满量程，同时考虑传感器可能暴露的过压(正常和意外)。