KOFLOC气体流量控制器DF350C
KOFLOC气体流量控制器DF350C DF-200系列是一款高性能数字质量流量控制器，SP精度为1%，响应时间1秒。它还具有七种气体的多气体和多量程功能，并且易于改变每种气体的流速范围。 高精度
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KOFLOC气体流量控制器DF350C
DF-200系列是一款高性能数字质量流量控制器，SP精度为±1%，响应时间≤1秒。它还具有七种气体的多气体和多量程功能，并且易于改变每种气体的流速范围。
·高精度(±1%RD)，快速响应(1秒。在所有范围内)
·支持多种范围和多种气体
·作为标准功能安装的通信功能(RS485)
·符合RoHS / CE标准
| 传感器类型 | 热传感器 | |
| 阀门类型 | 常闭比例电磁阀 | |
| 适用气体* 1 | 多种气体：N2（空气，H2，He，Ar，O2，CO2）* 2 | |
| 流量范围* 3 | 10/30/50/100/300/500 SCCM，1/3/5/10 SLM * 2 | |
| 控制范围 | 2至100％（FS） | |
| 响应* 4 | 总流量控制范围±1秒（±2％FS内） | |
| 精度* 5 |
±1.0％SP（> 35％FS） ±0.35％FS（≤35％FS） |
|
| 重复性 | ±0.25％FS | |
| 工作压差* 6 | 50至300 kPa（Ar和CO2为100至300 kPa） | |
| 进口比较大压力 | 500kPa（G） | |
| 证明压力 | 980kPa（G） | |
| 外部泄漏率 | ≤1.0×10 -8 Pa·m 3 / sec（He） | |
| 温度 | 工作温度 | 5至50℃ |
| 精确保证温度。 | 15至35℃ | |
| 允许的存储温度。 | -10至60℃ | |
| 允许的工作湿度 | 相对湿度为10％至90％（无结露） | |
| 气体接触部分的材料 | SUS316，SUS316L，磁性不锈钢，Ni，PTFE，PCTFE和FKM | |
| 电气连接 | D-sub 9针，KFC标准（符合SEMI标准），RJ-45模块化插孔（两个） | |
| 流量设定信号 | 0至5 V DC（输入阻抗：约1MΩ） | |
| 流量输出信号 | 0至5 V DC（负载电阻10kΩ） | |
| 数字通信 | 使用RS485旋转开关设置地址：比较多99个设备（9600 bps） | |
| 所需电源（DC） | +15 V DC（±5％）：150 mA， - 15 V DC（±5％）：150 mA | |
| 联合* 7 | 1/4 F900（标准），1/4 UJR，Rc 1/4 | |
| 安装姿势 | 建议水平安装。 | |
| 重量* 8 | 约。850克 | |
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标题：KOFLOC气体流量控制器DF350C
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