Veriflo调节器SQ130E-100-2P-FS-FF

　　Veriflo调节器SQ130E-100-2P-FS-FF

　　Parker Veriflo SQ130E是一款高流量，高纯度，使用点压力调节器，适用于现代半导体加工应用。SQ130E设计用于过程气柜，用于精确控制工具处或附近的气体压力，在200 psig入口处流速高达300 slpm。这导致质量流量控制器的稳定流动和压力。

　　派克Veriflo SQ130E高纯度高流量调节器，2个端口，316L SS阀体，比较大1000 psig。入口压力机，比较大100 psig 出口压力机，非捆绑式Hastelloy C-22隔膜，无出口压力表，无进口压力表，PCTFE阀座，3.4“面对面，2P端口配置：1/4”面密封母(旋转)所有端口

　　Hastelloy C-22提升阀和隔膜标准

　　捆绑隔膜增加安全性

　　能够处理高达300 slpm的流量

　　兼容高流量的腐蚀性气体

　　没有湿润的弹簧

　　没有线暴露在潮湿区域

　　产品类别： 高流量压力调节器

　　制造商： Parker Veriflo

　　产品系列： SQ130E系列

　　比较大出口压力： 100 PSIG

　　口数量： 2端口2

　　尺寸： 1/4英寸端口2

　　类型： 面部密封女(旋转)

　　端口尺寸： 1/4英寸

　　港口类型： 面部密封女(旋转)