MKS微波功率源ASTEX AX2115

　　MKS微波功率源ASTEX AX2115

　　SmartPower®AX2500系列智能微波发电机经过验证具有设计坚固，可靠的微波功率发生器的经验半导体制造和工业应用。 紧凑的AX2500设计架构采用经过现场验证的技术，并结合了新的设计功能提高性能和降低拥有成本。

　　SmartPower AX2500系列包含两种型号，涵盖了一系列产品连续微波功率从180 W到3 kW。 型号AX2518具有比较大值AX2530的性能为1.8 kW和3 kW。 频率输出为2.455 GHz±15 MHz。

　　特点与优势

　　•提供1.8和3 kW功率优质别适用于200和300mm应用

　　•微处理器控制的灯丝削减延伸磁控管。 可现场更换的磁控管管降低整体CoO

　　•准确的功率测量和反馈确保高重复性

　　•紧凑的模块化设计增强跨平台兼容性

　　所有发电机共享一个通用的模块化架构准确的功率测量，反馈和控制增加了过程控制和可重复性。 所有型号具有0.1%的反馈控制功率调节输出功率(线路和负载)和纹波<±1%的输出功率。 PrecisionPower™技术(源自MKS获得专利的SmartMatch™智能微波匹配单位)将功率控制的准确度提高到<±1.5%提高工艺一致性的比较大功率。

　　此外，PrecisionPower™技术允许磁场在现场基本上被替换降低拥有成本。AX2500系列SmartPower®控制技术监控发电机的操作系统并提供电源关闭保护和智能诊断。该SmartPower®生成器上显示的简单消息前面板为用户提供所需的所有信息了解系统状态，减少MTTR并确保比较大正常运行时间